Soptop MX6 – инспекционный микроскоп для исследования кремниевых пластин и фотошаблонов. Оснащен большим предметным столом для работы в проходящем и отраженном свете, поляризацией, ДИК контрастом. Поле зрения окуляров до FN25.Микроскоп MX6 оснащается план-полу апохроматическими объективами, обеспечивающими разрешение до 0,2 мкм при увеличении 100х, столиками для кремниевых пластин до 6” с диапазоном перемещения 158×158 мм по XY, с рукояткой для быстрого и высокоточного перемещения.
Микроскопы линейки MX – модели MX6, MX8 и MX12 созданы для проведения высокоточного измерительного контроля фотошаблонов и кремниевых пластин. Внесены в реестр СИ, как комплекс в составе камеры и измерительного программного обеспечения.
Эргономика
Эргономическое расположение инструментов фокусировки, настройки интенсивности света и ручки перемещения столика, позволяют оператору максимально сосредоточится на изучении объектов, а тринокулярный тубус, наклоненный под углом 25 градусов позволяет сидеть за микроскопом с прямой спиной.
Оптические решения
Тринокулярный тубус с разделением светового потока 100/0-0/100 между камерой и окулярами с полем зрения до FN25. Позволяет синхронизировать по фокусу изображение на камере и в окулярах не теряя при этом интенсивность на призмах деления светового потока. Поток переключается, на камере не приходится завышать значения светочувствительности.
Высококачественные металлографические планахроматические или план-полу апохроматические объективы для работы в светлом/темном поле обладают повышенным рабочим расстоянием и четким изображением по всему полю зрения.
Объективы с увеличенным рабочим отрезком позволяют наблюдать декорпусированные объекты, а также кристаллы распаянные на корпус.
| Модель | Увеличение | Апертура | Рабочее расстояние (мм) | Парфокальное расстояние (мм) |
| Металлографические объективы, скорректированные на бесконечность для работы в светлом поле (B), а также темном поле (BD) | 5х | 0.15 | 10.8 | 45 |
| 10х | 0.30 | 10.0 | ||
| 20х | 0.45 | 4.0 | ||
| 50х | 0.55 | 7.8 | ||
| 100х | 0.80 | 2.1 |
Штатив с низким центром тяжести, устойчивый к вибрациям.
Штатив микроскопа MX6 позволяет достигнуть неподвижность оптической системы относительно объекта исследования, благодаря жесткому корпусу с низким центром тяжести.
Источники света, методики исследования
Микроскоп MX6 оснащен галогенным осветителем 12V/100W с регулировкой интенсивности света, переключателем между светлым и темным полем для отраженного света и светодиодной подсветкой для работы с фотошаблонами в проходящем свете.
С функцией наблюдения объектов в темном поле, а также поляризационной методикой исследования и ДИК контрастом, оператор может визуализировать царапины, неметаллические включения, трещины и другие дефекты поверхности образца. ДИК призма позволяет проводить визуальный контроль с рельефным контрастом на увеличении 100х, 200х и 500х. Призма универсальная для трех объективов.
